化學(xué)織構(gòu)化硅表面OTS自組裝膜形貌及性能表征

用40%NH4F對(duì)Si（100）表面進(jìn)行化學(xué)織構(gòu)化,然后用十八烷基三氯硅烷（OTS）進(jìn)行分子自組裝,在織構(gòu)化表面谷底區(qū)域形成液體凝聚（LC）相分子薄膜?？棙?gòu)化表面的典型山丘直徑約30|nm,高約7|nm;典型的LC相OTS單層膜原子力顯微鏡（AFM）厚度約2.3|nm。隨著反應(yīng)時(shí)間的延長(zhǎng),OTS薄膜的LC相面積覆蓋率逐漸增加,30m|in后達(dá)到70%左右的平衡值。OTS組裝8|min后的表面靜態(tài)接觸角即達(dá)108°左右,且表面接觸角不再隨反應(yīng)時(shí)間的延長(zhǎng)或LC相面積覆蓋率的增加而明顯變化。組裝的OTS薄膜能顯著改善織構(gòu)化硅表面的摩擦學(xué)性能。

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